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Worker exposure to methanol vapors during cleaning of semiconductor wafers in a manufacturing setting.
(L’exposition de travailleurs aux vapeurs de méthanol durant le nettoyage de plaquettes de semi-conducteurs dans une usine).
Article
Publié dans : Journal of Occupational and Environmental Hygiene, Etats-Unis, vol. 5, n° 5, mai 2008, pp. 313-324, ill., bibliogr. (En anglais)
L’objectif de cette étude était de réaliser une simulation pour caractériser l’exposition au méthanol de travailleurs nettoyant des tranches (encore appelée plaquettes ou rondelles) de semi-conducteurs entrant dans la composition de circuits ou composants électroniques, dans les départements de contrôle qualité de l’industrie des semi-conducteurs. Pour cela, des échantillons individuels et d’air (à des distances de 1 mètre à 3-6 m de la source) ont été collectés sur 2 durées (15 minutes et 2-4 heures) durant deux jours. Le 1er jour, 45 ml de méthanol par heure ont été utilisés par un seul employé nettoyant des plaquettes dans un local de 102 m3 avec un taux de ventilation de l’ordre de 10 changements d’air par heure (ACH). Pratiquement tout le méthanol s’est volatilisé. Pour évaluer les expositions dans des conditions de forte productivité, le second jour, 2 employés ont travaillé simultanément en utilisant à eux deux 3 fois plus de méthanol (95 ml/h), avec un taux de ventilation de 5 ACH. Les concentrations individuelles du 1er jour étaient de 60 ppm en moyenne et variaient de 10 à 140 ppm. Le second jour, les concentrations individuelles étaient de 118 ppm (de 64 à 270 ppm). Les concentrations dans l’air de la pièce le 1er jour étaient de 29 ppm à 1 mètre de la source et 18 ppm à travers la pièce. Le second jour, elles étaient respectivement de 73 et 48 ppm. Les résultats de cette simulation suggèrent que l’utilisation du méthanol pour le nettoyage de plaquettes de semi-conducteurs avec des taux de ventilation relativement bas entraîne une exposition des employés dépassant les valeurs maximales limites ACGIH de 200 ppm. Cette étude permet aussi de confirmer les recherches précédentes montrant que quand un produit chimique volatil est localisé à moins de la longueur d’un bras, ses concentrations dans la zone de respiration sont 2 à 3 fois plus élevées que dans le reste de la pièce, pour un taux de renouvellement de l’air de 5 à 10 ACH.
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