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Industrial hygiene and control technology assessment of ion implantation operations.


(Evaluation des mesures d'hygiène et de sécurité mises en oeuvre lors des opérations d'implantation ionique).


Article

UNGERS L.J. | JONES J.H.

Publié dans : American Industrial Hygiene Association Journal, Etats-Unis, vol. 47, no 10, octobre 1986, pp. 607-614, ill., bibliogr (En anglais)

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