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Chemical use in the semiconductor manufacturing industry.
(Utilisation de produits chimiques dans l'industrie de fabrication des semi-conducteurs).
Article
Est Publié dans : International Journal of Occupational and Environmental Health, vol.24 n°3-4, 2018, pp.109-118, ill., bibliogr.
Le but de cette étude était d’examiner l’utilisation de produits chimiques dans l’industrie des semi-conducteurs, à l’aide des fiches de données de sécurité (FDS) et d’un inventaire des produits chimiques fourni par une grande entreprise de semi-conducteurs exploitant deux usines (A et B). Des statistiques descriptives ont été obtenues sur le nombre de produits et d'ingrédients chimiques, de photoréserves et de carcinogènes selon la classification du Centre international de recherche sur le cancer (CIRC), ainsi que sur les ingrédients constituant des secrets commerciaux. L'utilisation totale de produits chimiques par an a été estimée à partir de la masse (en kilogrammes) des inventaires de produits chimiques. Les résultats de l’étude montrent que respectivement 428 et 432 produits chimiques ont été utilisés dans les usines A et B. Le nombre d'ingrédients chimiques purs, après suppression des ingrédients relevant du secret commercial et comptage multiple, était de respectivement 189 et 157 dans les usines A et B. Le nombre de produits contenant des agents cancérigènes, tels que l'acide sulfurique, le catéchol et le naphtalène, était de 47/428 (A) et 28/432 (B). Les produits chimiques utilisés en photolithographie représentaient 21 % (A) et 26 % (B) de l'ensemble des produits chimiques, et plus de 97 % d'entre eux étaient des produits chimiques contenant des ingrédients relevant du secret commercial. En conclusion, chaque année, 4,3 et 8,3 tonnes de produits chimiques ont été utilisées par personne dans les usines A et B, respectivement. En raison du niveau élevé de secret commercial et de l'utilisation de nombreux produits chimiques non réglementés, des politiques et des méthodes plus durables devraient être mises en œuvre afin de prévenir les risques pour la santé et la sécurité dans l'industrie des semi-conducteurs.
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