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A preliminary evaluation of the Fourier transform infrared (FTIR) spectrometer as a quantitative air monitor for semiconductor manufacturing process emissions.
(Evaluation préliminaire de l'utilité du spectromètre infrarouge à transformée de Fourier (FTIR) pour le contrôle quantitatif de l'air contenant des effluents produits par la fabrication de semi-conducteurs).
Article
Publié dans : American Industrial Hygiene Association Journal, Etats-Unis, vol. 50, no 2, février 1989, pp. 70-77, ill., bibliogr. (En anglais)
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