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Risques liés à la fabrication d'un microcomposant sur substrat d'arséniure de gallium.
Extrait de : 20e Journées nationales de médecine du travail. Toulouse, 18-21 mai 1988.
Article
Publié dans : Archives des maladies professionnelles, vol. 50, no 2, 1989, pp. 151-153, ill., bibliogr.
L'arséniure de gallium est un matériau semi-conducteur récent, actuellement moins utilisé que le silicium. Il possède des propriétés électriques particulières qui le rendent irremplacable pour des applications très précises telles que l'optoélectronique et les circuits d'hyperfréquences. Cet article expose le processus de fabrication et analyse rapidement les conditions de travail et les risques qui sont nombreux, variés et souvent intriqués : cela tient à ce que les techniques associent l'utilisation de produits chimiques (acides forts, hydrocarbures chlorés, alcools, amines aromatiques, cyanures, xylènes, éthers de glycol, arsenic, gallium, arséniure de gallium, etc.), des procédés physiques de traitement et de contrôle, l'emploi de machines complexes et l'environnement de travail particulier dans les salles blanches.