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NIOSH field studies team assessment : worker exposure to aerosolized metal oxide nanoparticles in a semiconductor fabrication facility.
(Evaluation de l'équipe d'études de terrain du NIOSH : exposition des travailleurs aux aérosols de nanoparticules d'oxyde métallique dans une installation de fabrication de semi-conducteurs).
Article
Publié dans : Journal of Occupational and Environmental Hygiene, Etats-Unis, vol. 13, n° 11, novembre 2016, pp. 871-880, ill., bibliogr. (En anglais)
Pour faire avancer la connaissance sur l'exposition potentielle des travailleurs aux nanomatériaux, une équipe de l'Institut national pour la sécurité et la santé au travail américain (NIOSH) a mené une évaluation, dans un établissement de recherche et de développement de semi-conducteurs en 2011. Une combinaison d'échantillons obtenue à partir de prélèvements sur filtre et d'instruments à lecture directe a été utilisée pour identifier, caractériser et quantifier le potentiel d'exposition par inhalation de travailleurs, aux nanoparticules d'oxyde d'aluminium et de silice amorphe, associées au processus de polissage mécano-chimique (ou planarisation) des plaquettes. Les mesures de prévention et les pratiques de travail ont été évaluées pour caractériser les tâches qui pourraient contribuer à des expositions potentielles. Les structures d'oxyde métallique ont été identifiées dans toutes les zones d'échantillonnage, en tant que nanoparticules et agglomérats individuels de taille allant de 60 nm à 1 000 nm, avec une morphologie variable, de longue et étroite à compacte. Les échantillons à base de filtre indiquent très peu d’aérosol dans les zones de travail ou les zones de respiration des travailleurs. Les données des instruments à lecture directe ont indiqué une augmentation du nombre de particules par rapport à l'arrière-plan, dans la zone de traitement des eaux usées. Cependant, le nombre de particules était très bas dans l'ensemble, ce qui indique un environnement de travail bien contrôlé. Les recommandations pour les employés manipulant ou potentiellement exposés aux nanomatériaux comprennent la communication des dangers, les procédures d'exploitation standard, la vérification des systèmes de ventilation et des mesures de prévention, là où les nanomatériaux sont fabriqués, utilisés ou stockés, et la mise en place de prélèvement d'air de routine pour l'évaluation et l'analyse de l'exposition professionnelle.
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